安徽鉅芯半導(dǎo)體科技股份有限公司于2016年成立研發(fā)中心,由公司總經(jīng)理曹孫根作為中心主任。2018年與安徽大學(xué)、合肥師范學(xué)院合作升級(jí)為企業(yè)工程中心,工程中心已現(xiàn)擁有38人的專業(yè)技術(shù)人才隊(duì)伍,共有高級(jí)職稱、博士16人,本科以上學(xué)歷33人,初步建立了一支結(jié)構(gòu)合理、學(xué)歷層次高、工作經(jīng)驗(yàn)豐富和研發(fā)思想活躍的科技研發(fā)隊(duì)伍。
工程研究中心匯聚了相關(guān)微電子學(xué)與固體電子學(xué)、電子科學(xué)與技術(shù)、材料物理等方面的專業(yè)技術(shù)人才,完全能夠承擔(dān)功率器件材料、芯片及封裝測(cè)試應(yīng)用工程研究及產(chǎn)業(yè)化運(yùn)作工作。同時(shí),工程研究中心設(shè)立專家委員會(huì),為研究工程中心的技術(shù)發(fā)展引領(lǐng)方向。
中心針對(duì)新一代半導(dǎo)體功率器件及芯片的材料、工藝及應(yīng)用的產(chǎn)業(yè)化研究,圍繞打破國(guó)外對(duì)我國(guó)新型半導(dǎo)體材料功率器件及設(shè)備技術(shù)的封鎖,以“突破超結(jié)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、低界面態(tài)關(guān)鍵工藝以及功率模塊的系統(tǒng)級(jí)封裝等核心技術(shù),降低對(duì)國(guó)外的依存度,解決功率器件領(lǐng)域的卡脖子技術(shù),實(shí)現(xiàn)新型半導(dǎo)體材料功率器件的國(guó)產(chǎn)化”為目標(biāo),主要圍繞以下3個(gè)方面開(kāi)展關(guān)鍵性技術(shù)研發(fā)及應(yīng)用推廣:
■基于新一代半導(dǎo)體材料的新型結(jié)構(gòu)功率器件設(shè)計(jì)與研究
■超高壓、低界面態(tài)的納米級(jí)復(fù)合鈍化層保護(hù)技術(shù)研究
■功率器件模塊封裝中的熱、電、力等多物理場(chǎng)仿真分析技術(shù)研究
本工程研究中心團(tuán)隊(duì)一直從事半導(dǎo)體功率器件設(shè)計(jì)、制造、測(cè)試驗(yàn)證、微電子學(xué)與固體電子學(xué)、電路與系統(tǒng)的理論與應(yīng)用研究。取得了一定的成果,共獲得國(guó)家級(jí)項(xiàng)目10余項(xiàng),省級(jí)項(xiàng)目30余項(xiàng),發(fā)表SCI/EI論文100余篇,獲批發(fā)明專利40余項(xiàng),獲軟件著作權(quán)5項(xiàng),制定企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)1項(xiàng)。
工程中心已初步建成半導(dǎo)體功率器件研發(fā)平臺(tái),擁有各類正版授權(quán)專業(yè)仿真設(shè)計(jì)軟件6套,總價(jià)值8億美元;擁有各類研發(fā)設(shè)備67余臺(tái)套,設(shè)備原值達(dá)1512.96萬(wàn)元,具有強(qiáng)大的高新技術(shù)開(kāi)發(fā)能力和科技成果轉(zhuǎn)化能力,為半導(dǎo)體功率器件的研發(fā)和中試提供先進(jìn)的實(shí)驗(yàn)條件。可以進(jìn)行功率器件設(shè)計(jì)、功率器件封裝熱電力多物理仿真研究及優(yōu)化。主要研發(fā)設(shè)備包括精密測(cè)試儀、芯片全自動(dòng)檢測(cè)儀、少子壽命測(cè)試儀、Spin Coater、刻蝕機(jī)、高溫反偏老化系統(tǒng)、激光劃片機(jī)、DeveIoper、全自動(dòng)二極管生產(chǎn)線、全橋DVF測(cè)試機(jī)、全自動(dòng)多功能高速裝片機(jī)、開(kāi)溝機(jī)、進(jìn)口顯影機(jī)等封裝測(cè)試驗(yàn)證設(shè)備。
目前現(xiàn)有科研及辦公用房共計(jì)1000余平方米,建有產(chǎn)業(yè)化中心、工藝開(kāi)發(fā)部、設(shè)計(jì)部、測(cè)試分析中心、技術(shù)推廣合作部。并聯(lián)合院校的半導(dǎo)體器件系統(tǒng)級(jí)封裝彈坑實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體器件系統(tǒng)級(jí)封裝設(shè)計(jì)部、測(cè)試與工藝開(kāi)發(fā)實(shí)驗(yàn)室、熱分析實(shí)驗(yàn)室、信號(hào)完整性、可靠性分析實(shí)驗(yàn)室、安徽省集成電路設(shè)計(jì)平臺(tái)、安徽省電子系統(tǒng)設(shè)計(jì)與仿真實(shí)驗(yàn)室,具備新一代半導(dǎo)體功率器件研發(fā)的基本基礎(chǔ)。
中心成立后,在超結(jié)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、低界面態(tài)關(guān)鍵工藝以及功率模塊的系統(tǒng)級(jí)封裝等方面取得突破,獲取功率半導(dǎo)體器件領(lǐng)域的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替換進(jìn)口,對(duì)優(yōu)化形成我國(guó)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的功率半導(dǎo)體器件完整的產(chǎn)業(yè)鏈具有重要意義。